最小檢知量

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

≤0.1µL/L

CO/H₂

≤0.5µL/L

純度

≤0.03%（V/V)

露點:阻容

≤0.1℃

精度

SO₂+SOF₂、H₂S、HF

測量值≤10µL/L時,誤差≤±0.5µL/L

測量值＞10µL/L時,誤差≤±5%

CO/H₂

測量值≤50µL/L時,誤差≤±2.0µL/L

測量值＞50µL/L時,誤差≤±4%

純度

≤±0.1 %(W/W)

阻容/鏡面

≤±1℃/±0.3℃

重 複 性

SO₂+SOF₂ 、H₂S、HF

測量值≤10µL/L時,≤0.2µL/L

10µL/L～100µL/L時：≤2%

CO/H₂

測量值≤50µL/L時,≤1.5µL/L

檢測值在50µL/L～1000µL/L時：≤3%

純度

≤0.05%(W/W)

阻容/鏡面

＜1%（RSD）

量  程

SO₂+SOF₂

0～100µL/L,0～2000µL/L

H₂S

0～100µL/L

HF

0～20µL/L

CO/H₂

0～1000µL/L

純度

0～100%

阻容/鏡面

-80℃～+20℃/-60℃～+20℃@30℃